Chen Li1,2,3

  • 1School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China.

Micromachines
|September 27, 2025
PubMed
概括

本研究探讨了半导体等难以加工的材料的先进加工技术. 开发了新的方法来提高半导体制造的精度和效率.