关于在AlN陶上制备钻石薄膜基板的研究及其在LED包装中的性能
Shasha Wei1, Yusheng Sui1, Yunlong Shi1
1College of Marine Equipment and Mechanical Engineering, Jimei University, Xiamen 361021, China.
Micromachines
|September 27, 2025
概括
钻石薄膜增强化 (AlN) 基板,以便在高功率LED包装中更好地散热. 与传统基板相比,这种复合材料显著改善了热管理.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 热力工程是热力工程中的一个.
- 半导体设备物理 半导体设备物理
背景情况:
- 化 (AlN) 陶具有较差的导热性,限制了它们在高功率LED包装中的使用.
- 有效的散热对于LED的性能和寿命至关重要.
研究的目的:
- 为了提高AlN陶基板的散热能力.
- 研究钻石薄膜的应用,以改善LED包装中的热管理.
主要方法:
- 钻石薄膜被沉积在AlN陶基板上,使用微波等离子体化学蒸汽沉积 (MPCVD).
- 分析了各种工艺参数对钻石薄膜质量,形态和方向的影响.
- 通过测试不同基板上包装的LED设备的节点温度和热电阻来评估热性能.
主要成果:
- 与纯AlN和基板相比,AlN陶-钻石复合基板表现出优越的散热性能.
- 在高功率运行条件下,这种增强特别明显.
- 优化的钻石薄膜沉积改善了AlN基板的导热性.
结论:
- 在高功率LED应用中,AlN陶-钻石复合基板为热管理提供了有效的解决方案.
- 钻石薄膜的集成显著提高了AlN陶的散热能力.
- 这种复合材料是先进的LED包装的有希望的替代品,需要强大的热性能.
