MEMS,

Haoxiang Li1,2, Jiapeng Hou1,2, Zheng Gong3

  • 1School of Nano-Tech and Nano-Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China.

Micromachines
|September 27, 2025
PubMed
概括

这项研究引入了微电机系统 (MEMS) 微镜的混合动力驱动方案,显著减少了机械交叉声. 这种新的设计确保了对像LiDAR这样的应用程序的无扭曲光学扫描.