使用基于等离子体的AlF3处理的远紫外线Al镜的被动化策略
Maria Gabriela Sales1, David R Boris2, Luis V Rodriguez de Marcos3
1NRC Research Associateship Program, Washington, DC, 20001, United States.
Chemistry of materials : a publication of the American Chemical Society
|September 29, 2025
概括
研究人员开发了一种混合等离子增强原子层沉积 (PEALD) 系统,用于为镜制造保护性化物涂层,显著提高远紫外线 (FUV) 反射率,用于天体物理应用.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 等离子体物理学的物理学
背景情况:
- 高纯度的具有出色的远紫外线 (FUV) 反射,对于天体物理学仪器来说至关重要.
- 的大气氧化形成原生氧化物,降低FUV光学性能.
- 保护性涂层对于保持的FUV反射强度至关重要.
研究的目的:
- 开发和优化混合等离子增强原子层沉积 (PEALD) 系统,用于镜的被动化.
- 研究在现场使用电子束 (e-beam) 等离子体来制造金属化物薄膜.
- 为随后的化物层沉积建立有效的预处理方法.
主要方法:
- 使用了一种改造的原子层沉积 (ALD) 反应器,结合了感应合等离子体 (ICP) 和e-beam驱动等离子体源.
- 研究了样品接地,SF6/Ar流量和温度对AlF3膜特性的影响.
- 在现场的e-beam等离子处理和XeF被动化被探索为种子层预处理.
主要成果:
- 在最佳条件下,AlF3涂层具有高FUV反射率 (92%在121nm,42%在103nm).
- 开发的涂料的性能与最先进的AlF3被动化层相提并论.
- 在现场的e-beam等离子体和XeF2被动化都被证明是准备未氧化表面的有效方法.
结论:
- 混合PEALD系统为创建高性能FUV镜面涂层提供了一种可行的方法.
- 在现场优化的e-beam处理为使用ALD/PEALD沉积各种化物基层 (例如MgF,LiF) 提供了一个有前途的途径.
- 这种技术提高了镜在FUV应用中的实用性,特别是在基于太空的仪器仪表中.
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