MEMS:使

Yohan Jung1, Dongseok Lee1, Jongbaeg Kim2

  • 1School of Mechanical Engineering, Yonsei University, Seodaemun-gu, Seoul, Republic of Korea.

PubMed
概括

添加的化 (AlScN) 为微电子机械系统 (MEMS) 镜子提供了改进的压电性能,克服了传统氧化 (PZT) 和纯化 (AlN) 对于先进光学应用的局限性.