化用于压电MEMS镜子应用的近期进展:增强了使用兴奋剂的化
Yohan Jung1, Dongseok Lee1, Jongbaeg Kim2
1School of Mechanical Engineering, Yonsei University, Seodaemun-gu, Seoul, Republic of Korea.
Microsystems & nanoengineering
|September 29, 2025
概括
添加的化 (AlScN) 为微电子机械系统 (MEMS) 镜子提供了改进的压电性能,克服了传统氧化 (PZT) 和纯化 (AlN) 对于先进光学应用的局限性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 光学是什么?光学是什么?
背景情况:
- 压电微电子机械系统 (MEMS) 镜子对于LiDAR和光学成像至关重要.
- 硫酸 (PZT) 有限制,包括高加工温度和含量.
- 化 (AlN) 是一种CMOS兼容的替代品,但具有较低的压电系数.
研究的目的:
- 审查用于MEMS镜像应用的AlN和AlScN的最新进展.
- 评估兴奋剂对AlN压电性质的影响.
- 为了比较AlN和AlScN MEMS镜子的性能和应用潜力.
主要方法:
- 在MEMS镜中对AlN和AlScN的综合文献综述.
- 分析压电特性,制造技术和镜子性能.
- 基于AlN和AlScN的MEMS镜子的比较评估.
主要成果:
- 扫兴奋剂显著增强了AlN (AlScN) 的压电反应.
- 由于改善了压电系数和降低了刚度,AlScN使MEMS镜中的扫描角度更大.
- 与PZT不同的是,AlScN保留了CMOS兼容性和环境稳定性.
结论:
- AlScN是一种有前途的无材料,用于高性能MEMS镜子.
- 兴奋剂有效地解决了MEMS应用中纯AlN的局限性.
- 对于未来的光学系统,需要对AlScN制造和性能进行进一步的研究.


