通过高效的声计算,找到金属原子层沉积的温度窗口

Alexandr Fonari1, Simon D Elliott2, Casey N Brock1

  • 1Schrödinger Inc., 1540 Broadway, Floor 24, New York, NY 10036, USA. alexandr.fonari@schrodinger.com.

概括

密度函数理论 (DFT) 解释了膜的生长. 计算热力学揭示了水溶解在113°C以上是金属原子层沉积 (ALD) 的关键.