新的Fabry-Pérot波器结构用于高性能多光谱成像,使用从可见到近红外的宽带
Bo Gao1,2, Tianxin Wang1,2, Lu Chen1,2
1Key Laboratory of Spectral Imaging Technology of Chinese Academy of Sciences, Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics, Xi'an 710119, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|October 16, 2025
概括
这项研究引入了用于快照光谱成像的新型Fabry-Pérot波器设计. 这些过器使用介电薄膜在CMOS图像传感器上进行宽波长过 (400-1100nm).
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 与传统设备相比,快照光谱成像提供了微型化解决方案.
- 传统的Fabry-Pérot腔具有狭窄的带宽,限制了它们的应用范围.
研究的目的:
- 开发用于宽波长光谱成像的新型Fabry-Pérot过器结构.
- 为了实现芯片上快照多谱成像,提高性能和兼容性.
主要方法:
- 建议使用介电薄膜进行相位调节的新型Fabry-Pérot波器结构.
- 设计用于广泛的操作波长范围 (400 nm 到 1100 nm).
- 确保与补充性金属氧化物半导体 (CMOS) 图像传感器的兼容性.
主要成果:
- 在广泛的操作波长范围内 (400-1100 nm) 实现了单峰过.
- 对于倾斜的入射角度 (高达30°) 的敏感性较低,波长偏移最小.
- 结构易于制造,并且兼容CMOS.
结论:
- 先进的Fabry-Pérot过器设计扩大了快照光谱成像的操作波长.
- 这一创新为相关科学和技术领域的更广泛应用提供了有前途的途径.
