在P型4H-SiC上对米行为进行Ti接触的激光处理.
Roberto Vabres1, Gabriele Bellocchi2, Corrado Bongiorno3
1Engineering Department, University of Palermo, Palermo 90128, Italy.
概括
使用 (Ti) 进行脉冲激光化 (PLA),可以在p型碳化 (SiC) 上实现低温欧姆接触. 这种方法可以将传导性能提高50%以上,并为先进的动力设备创建稳定的Ti-Si-C接口.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 在p型4H-碳化 (SiC) 上形成的欧姆接触对于功率装置的性能至关重要.
- 传统方法涉及高热预算或复杂的多层堆,限制了可扩展性和效率.
研究的目的:
- 开发一种选择性,低热预算的方法,用于p型4H-SiC上的欧姆接触.
- 为了研究脉冲激光化 (PLA) 对 (Ti) 金属化的接触形成的影响.
主要方法:
- 在p型4H-SiC上利用了与PLA结合的单一Ti金属化.
- 应用了不同的激光流量 (超过3.6 J/cm2) 并分析了电流-电压 (I-V) 特性.
- 采用横截面传输电子显微镜 (TEM) 和元素映射来表征接口结构.
主要成果:
- 在3.6 J/cm2以上的PLA流动导致线性I-V行为,表明欧姆接触形成.
- 在3.8J/cm2时观察到传导的50%改善,这归因于更深的SiC消耗和表轴SiC/TiC层的形成.
- 较高的流量促进了三元Ti-Si-C相,增强了接口稳定性和电性能.
结论:
- 在p型4H-SiC上,PLA为欧姆接触提供了对界面反应和微观结构的精确控制.
- 这种方法具有可扩展性,选择性和热效率,推进了SiC功率电子.
- 开发的方法有助于制造出高性能,下一代基于SiC的动力设备.
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