高稳定性柔性薄膜温度传感器使用MWCNT硬化Peano结构
Zhaojun Liu1,2,3,4, Bian Tian5,6, Bogang Liu7,8
1State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'An, 710049, China. lzj2024@xjtu.edu.cn.
Microsystems & nanoengineering
|October 23, 2025
概括
灵活的薄膜温度传感器使用Peano结构和多壁碳纳米管 (MWCNTs) 进行了优化,以提高稳定性. 开发的传感器不受变形的影响,为各种应用提供可靠的温度测量.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 灵活的薄膜温度传感器提供符合表面温度的测量.
- 由于安装变形和测试压力,传感器性能下降.
- 现有的传感器在机械应力下缺乏稳定性.
研究的目的:
- 开发一种稳定可靠的柔性薄膜温度传感器.
- 为了减少使用Peano结构的薄膜传感器的内部应力.
- 用MWCNT兴奋剂来增强热电特性.
主要方法:
- 利用Peano结构进行薄膜设计优化,以最大限度地减少内部压力.
- 用多壁碳纳米管 (MWCNTs) 添加的氧化物 (In2O3).
- 针对粉末纤维分层粘合薄膜微结构的优化协同符合性沉积参数.
主要成果:
- 开发了一种热电偶类型的柔性薄膜温度传感器.
- 传感器表现出高稳定性和可靠性,不受力或变形的影响.
- 实现了降低内部应力和增强热电特性.
结论:
- 皮亚诺结构和MWCNT兴奋剂有效地提高了传感器的稳定性和可靠性.
- 开发的传感器适用于苛刻的接触和非接触温度测量.
- 这项技术对涉及机械应力和变形的应用具有前景.
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