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Updated: May 5, 2026

Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides
Published on: July 1, 2013
硫氧化还原介质用于低温柔性无形氧化物CMOS电子产品.
Mingyang Wang1, Taoyu Zou2, Youjin Reo2
1Institute of Fundamental and Frontier Sciences, State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, China.
一种新的硫介导策略使得高性能无形p型薄膜晶体管的基于氧化物的导通通道形成. 这一突破使得超低温处理成为可能,这对于灵活的电子和补充性金属氧化物半导体 (CMOS) 技术至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 电子工程 电子工程
背景情况:
- 无形的p型氧化物对于先进的灵活和可扩展的互补金属氧化物半导体 (CMOS) 技术至关重要.
- 基于的氧化物 (Te-TeOx) 由于嵌入的Te-Te导电网络而具有潜力,但在控制的形成中面临着挑战,以在低热预算下实现最佳孔运输和可配合性.
研究的目的:
- 开发一种方法来控制Te-Te导电通道在基于的无形氧化物中形成.
- 为了实现在超低温度下处理的高性能p通道薄膜晶体管 (TFT).
主要方法:
- 使用硫介导的氧化还原策略来调节当地的结合环境.
- 这涉及TeO2解离和Te4+部分减少,以促进短链Te-Te网络的形成.
主要成果:
- 高性能的p通道TFT被制造出来,平均孔移动度为11.5cm2 V-1 s-1,开/关比为106.
- 该过程在120°C的超低温度下实现,具有很高的均性和可重复性.
- 集成全氧化物CMOS电路,包括逆变器和环振荡器,在柔性和刚性基板上展示了成功的功能.
结论:
- 硫介导策略有效促进Te-Te导电网络的形成,使高性能无形p型氧化物的超低温加工成为可能.
- 这种方法为下一代灵活和可扩展的电子设备和电路铺平了道路.
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