在气凝表面上对银层进行5秒激光精密蚀刻
Shengtian Lin1, Congyi Wu1, Guojun Zhang1
1Analytical and Testing Center of Huazhong University of Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology, No. 1037, Luoyu Road, Wuhan 430074, China.
Micromachines
|October 29, 2025
概括
五秒激光蚀刻能够在气凝基板上精确地打造金属图案,克服传统方法的局限性. 这种技术为制造高速飞机耐热吸收层提供了可行的解决方案.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 激光处理 激光加工
- 气凝是一种气凝.
背景情况:
- 纤维增强的气凝 (SFRSA) 由于其特性,非常适合用于耐热的飞机应用.
- 超高孔隙性和刚性问题阻碍了SFRSA上的传统金属层图案.
研究的目的:
- 开发一种在SFRSA基板上制备有图案的金属层的方法.
- 为了研究秒激光蚀刻作为一种解决模式挑战的解决方案.
主要方法:
- 坐标实验以优化激光蚀刻参数.
- 分析蚀刻质量,包括宽度,受热影响区域和直度.
- 使用拉曼光谱,TGA和Py-GC-MS进行了表征.
主要成果:
- 最佳参数:2.15W的激光功率,200mm/s的速度,9秒的蚀刻时间.
- 取得的蚀刻宽度为26.16微米,受热影响区域为39.16微米,直度为7.9微米.
- 通过光热机制进行激光蚀刻,以二氧化碳的产生和减少的碳含量来表示.
结论:
- 五秒激光蚀刻对于在SFRSA上准备图案金属层是有效的.
- 该工艺适用于制造用于航空航天应用的耐热吸收层.
- 了解光热机制有助于进一步优化工艺.


