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Updated: Jan 11, 2026
08:21
Laser-induced Forward Transfer for Flip-chip Packaging of Single Dies
Published on: March 20, 2015
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概括
研究人员开发了一种高功率的6连接垂直腔表面发射激光 (VCSEL) 阵列. 这种脉冲VCSEL阵列实现了高峰功率和低分歧,为高级传感应用提供了洞察力.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体设备 半导体设备
- 激光技术 激光技术 激光技术
背景情况:
- 垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 在各种应用中至关重要.
- 高功率和高密度的VCSEL阵列对LiDAR等先进技术有需求.
- 在控制热效应和优化脉冲VCSEL操作中的性能方面存在挑战.
研究的目的:
- 设计,制造和描述一个高功率密度的6节VCSEL阵列,用于纳米秒脉冲操作.
- 调查抑制高阶模式和减少分歧角度的方法.
- 分析工作周期对性能的影响,了解热效应.
主要方法:
- 优化表轴结构,包括扩展腔和减少氧化物层.
- 一个6节VCSEL阵列的制造.
- 在脉冲条件下,输出功率,光谱特性和远场性能的详细描述.
- 调查工作周期对设备性能的影响.
主要成果:
- 达到136W的高峰功率和超过2000W/mm2的功率密度.
- 成功地抑制了高阶模式,从而产生了低分歧角度 (18.5°-22.8°).
- 鉴定了由工作周期影响的不可忽视的热效应,即使在短脉冲操作中也是如此.
结论:
- 开发的6节VCSEL阵列显示了对高功率应用的巨大潜力.
- 经轴结构的优化是实现低分歧和高性能的关键.
- 了解和管理热效应对于设计有效的驾驶策略和用于LiDAR和传感的脉冲VCSEL阵列的热管理至关重要.
