抗噪声和无偏差的合成光圈数字全息显微镜用于芯片拓重建
Optics express
|November 11, 2025
概括
这项研究引入了一种新的合成孔径数字全息显微镜方法,可以精确地重建芯片地形. 它克服了相位偏差和噪声,以获得高质量,无偏差的超分辨率相位成像.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 显微镜技术 显微镜技术
- 计量学 计量学 计量学
背景情况:
- 阶段偏差和寄生边缘噪声降低了合成孔径数字全息显微镜中的超分辨率相位成像和地形准确性.
- 现有的方法与机械扫描错误和噪声作斗争,限制了精度.
研究的目的:
- 开发一种耐噪声和无偏差的合成光圈数字全息显微镜系统.
- 为了实现高精度的芯片地形重建,提高相位成像质量.
主要方法:
- 利用极化复杂化,在单个全息图中同时记录和重建样本信息和系统相位偏差.
- 实施双曝光原理,用于任意的照明角度,以弥补相位偏差.
- 采用改进的合成光圈算法和优化的光学设计来抑制各种类型的噪音.
主要成果:
- 同时全息记录和重建样本数据和相位偏差.
- 有效补偿光学系统的误差和消除机械扫描错误.
- 显著抑制寄生虫,斑点和衍射噪声,导致高信号比噪声比.
结论:
- 拟议的方法可以为复杂的芯片地形进行高精度,无偏差,超分辨率的相位重建.
- 这种先进的全息显微镜技术显著提高了地形测量精度.
- 该系统为苛刻的微电子检测和计量应用提供了强大的解决方案.


