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Updated: Jan 11, 2026
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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在FR3频段薄膜酸声学过器设计的实践演示
IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
|November 12, 2025
概括
研究人员为6G无线网络开发了先进的薄膜酸声学过器. 这种创新方法精确地控制了下一代移动通信的操作频率和分数带宽 (FBW).
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 电信 电信服务 电信服务 电信服务
背景情况:
- 微型声学过器对于现代无线通信系统至关重要.
- 薄膜酸 (TFLN) 为过器制造提供了出色的压电性能.
- 控制工作频率和分数带宽 (FBW) 对于先进的过器性能至关重要.
研究的目的:
- 介绍一种用于控制TFLN声波过器的操作频率和FBW的新方法.
- 为了证明第一阶反对称 (A1) 模式侧面场激发的批量声波共振器 (XBAR) 对于高频过器应用的有效性.
- 为未来的无线通信频段提供紧和单一的过器库.
主要方法:
- 使用20.5GHz运行的第一阶反对称 (A1) 模式XBAR.
- 利用了A1 XBARs的厚度依赖的共振频率.
- 利用了128的内平面异构性质. Y切割的TFLN用于过器特性定制.
主要成果:
- 一个三元梯子过器原型实现了1.79dB插入损失 (IL) 和8.58%的3dB FBW在20.5GHz.
- 在FR3频段实现了超过14.9dB的带外 (OoB) 排斥,具有紧的足迹 (0.90 × 0.74mm2).
- 一个八元波器原型显示3.80 dB IL,6.12% FBW在22.0 GHz,和22.97 dB OoB排斥.
结论:
- 本技术有效地控制了小型TFLN声学过器中的频率和FBW.
- 开发的基于XBAR的过器表现出高性能,包括低IL和高OoB排斥.
- 这种方法对下一代声学过器和6G及以后的单体过器银行来说是有希望的.
