对于OLED 6G应用的喷射目标的微结构和残余应力均质化,通过受控制的滚动和热处理
1Korea National Institute of Rare Metals, Korea Institute of Industrial Technology, Incheon 21655, Republic of Korea.
Materials (Basel, Switzerland)
|November 13, 2025
概括
为OLED优化 (Ti) 喷射目标,需要统一的微观结构和应力. 在700°C的温度下长时间火显著提高了对设备性能至关重要的均性和应力分布.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 金工业是金工业的一个方面.
- 薄膜技术 薄膜技术
背景情况:
- 在OLED应用中,Ti喷射目标中的微结构均性和残余应力至关重要.
- 实现尺寸稳定性,耐用性和最佳沉积性能取决于目标材料的质量.
研究的目的:
- 研究化参数对Ti板的微结构演变和应力松的影响.
- 确定用于OLED 6G应用的同质Ti喷射目标的最佳回火条件.
主要方法:
- 在730°C的温度下进行3N Ti板的热.
- 在600°C和700°C的温度下进行火处理,持续时间不同.
- 进行X射线衍射 (XRD) 和电子反射衍射 (EBSD) 分析.
主要成果:
- 制成的六角形α-Ti具有 (002) 方向.
- 在600°C的短时间回火导致异质的微观结构和高位移密度.
- 在700°C的火促进了再结晶和谷物生长稳定.
- 在700°C进行长时间 (长达5小时) 的化,实现了近乎完整的微观结构和残余应力均化.
结论:
- 对于Ti喷射目标来说,在700°C的温度下足够长的时间火是最优的.
- 这一过程产生了均的微观结构和均的残余应力分布.
- 为高级OLED应用程序处理Ti喷射目标提供了基本指导方针.
