使用可编程聚焦离子束雕塑的光学波导面部准备

科学领域:

• 光子学是指光子学的使用方法.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 制造光子设备需要精确准备光学方面,以实现高效的光合.
• 低损耗合对于光子系统中的光纤芯片和芯片芯片集成至关重要.

研究的目的:

• 介绍和演示一种聚焦离子束 (FIB) 雕塑方法,用于制备高质量的光学方面.
• 在化波导上评估FIB制备的面板的效率和光学性能.

主要方法:

• 利用聚焦离子束 (FIB) 雕塑用于商业化波导上面部制备.
• 研究了FIB电流对面质量和合损失的影响.
• 演示了一个概念验证的自动化FIB过程,用于可扩展的面部准备.

主要成果:

• 在FIB雕塑中,每面在15 nA的30秒内完成了面部准备.
• 侧面显示低合损失,主要是由于模态不匹配,表明高光学质量.
• 较高的FIB电流导致波导面变形,并增加了合损失.
• 一个自动化过程在没有用户干预的情况下成功准备了22个方面.

结论:

• FIB雕塑是一种有效和快速的技术,用于创建用于光子集成的低损耗光学方面.
• 演示的自动化过程是无物质的,并且可用于集成光子系统的可扩展.
• FIB雕塑具有创造光学集成的对齐特征的潜力.