对于低缺陷的GaN微型LED具有抑制的非辐射重组的逐步梯度蚀刻

Optics letters
|November 14, 2025
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概括

一种新的渐变梯度 (SWG) 蚀刻工艺通过最小化侧墙损坏来提高微型LED的效率. 这种方法提高了先进显示器的外部量子效率和设备性能.