扫描传输电子显微镜中的二次电子地形对比形成
Evgenii Vlasov1, Wouter Heyvaert1, Tom Stoops1
1EMAT and NANOlight Center of Excellence, University of Antwerp, Groenenborgerlaan 171, Antwerp, 2020, Belgium.
二次电子 (SE) 成像在扫描传输电子显微镜 (STEM) 中提供了表面地形. 我们开发了一个物理模型来解释SE图像,提高可靠性并实现3D重建.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面科学是一门学科.
- 电子显微镜电子显微镜
背景情况:
- 二次电子 (SE) 成像通过提供伪3D表面拓学来补充扫描传输电子显微镜 (STEM).
- 由于传输电子显微镜 (TEM) 中复杂的SE-磁场相互作用,目前的SE图像解释是经验性的.
研究的目的:
- 在TEM中开发SE成像的分析物理模型.
- 为了使SE图像能够更可靠地解释.
- 为3D表面重建算法奠定基础.
主要方法:
- 开发SE排放的分析物理模型.
- 模拟发射的SEs与TEM中的目标磁场的相互作用.
主要成果:
- 拟议的模型考虑了SE发射物理和磁场相互作用.
- 这有助于更准确地解释SE图像.
- 新的3D表面重建技术的潜力.
结论:
- 一个分析物理模型增强了STEM中的SE图像解释.
- 该模型解决了复杂的SE-磁场相互作用.
- 这项工作为先进的3D表面成像铺平了道路.
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