通过动态干扰测量对压缩执行器和系统进行校准
Knarik Khachatryan1, Michael Reichling1
1Institut für Physik, Universität Osnabrück, Barbarastr. 7, 49076 Osnabrück, Germany.
Beilstein journal of nanotechnology
|November 26, 2025
概括
我们介绍了一种使用纤维干扰仪信号在原子力显微镜中校准压变执行器的新方法. 这种技术准确地测量了位移和振荡幅度,这对于高精度显微镜至关重要.
科学领域:
- 物理 物理学 物理
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 精确的部件定位对于非接触式原子力显微镜 (AFM) 测量至关重要.
- 像管皮叶子这样的皮叶子执行器通常用于高精度定位AFM尖端或光学.
研究的目的:
- 开发和验证一个新的校准方法,用于在AFM. piezo执行器.
- 使用动态响应信号校准精细定位的z-piezo和悬臂振荡幅度.
主要方法:
- 使用光纤干扰仪来检测悬臂位移.
- 在不同悬臂振荡幅度和距离下分析了动态干扰仪响应信号.
- 记录了不同管缩和延伸的数据.
主要成果:
- 成功校准了基于动态干扰仪响应的精细定位z-piezo.
- 证明了对悬臂振荡幅度的准确校准.
- 评估了拟议的校准方法的准确性,优点和局限性.
结论:
- 拟议的方法提供了一种可靠的方法,用于校准在AFM.
- 这种技术提高了AFM应用中位移测量的精度.
- 该研究讨论了这种校准方法的实际含义和精度限制.
