通过无偏向的高加速应力测试 (uHAST) 改进金属间介电流过程,以提高HTRB在功率稳定性中获得高电子移动性晶体管 (HEMT) 的稳定性

Yu-Ting Chuang1,2, Niall Tumilty2, Tian-Li Wu3

  • 1MossFloat Ltd., Hsinchu City 30010, Taiwan.

Micromachines
|November 27, 2025
PubMed
概括

研究了化高电子移动性晶体管 (GaN HEMT) 在高温逆偏差下发生故障. 删除N-甲基-2-pyrrolidone (NMP) 处理解决了介电分层和提高了可靠性,防止故障.