多层工件和多线电化学微加工与水平电解质冲洗
Xiaocong Tang1,2, Yongbin Zeng1
1College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China.
Micromachines
|November 27, 2025
概括
本研究介绍了多线电化学微制造与水平电解质冲洗 (MWECMF),以克服多层工件制造中的精度问题. 改进的方法显著提高了阵列微结构的加工效率.
科学领域:
- 材料科学与工程 材料科学与工程
- 制造业 制造技术 制造技术
- 电化学 电化学 电化学
背景情况:
- 多线电化学微制造 (MWECM) 为高质量的阵列微结构生产提供了潜力.
- 电解副产品在多层工件中的积累限制了加工精度和工业应用.
研究的目的:
- 为了增强质量转移和提高加工精度在多层工件的电化学微型制造.
- 为解决MWECM中电解沉积积造成的局限性.
主要方法:
- 实施横向电解质冲洗 (MWECMF),以促进电解质沉积物的排放和电解质的更新.
- 利用流场模拟来优化层间工件间距.
- 进行单一因素实验以确定最佳处理参数 (电线输入速度,电压,频率,工作周期).
主要成果:
- 通过使用双线电极和四层工件配置,成功制造了阵列微结构.
- 实现了9.6微米/秒的整体加工速度,料速度为1.2微米/秒.
- 与传统方法相比,机械加工效率显著提高.
结论:
- MWECMF有效地提高了质量转移,并解决了多层工件制造中的精度问题.
- 优化的工艺参数和配置可大大提高加工效率.
- 这种方法为工业规模制造阵列微结构提供了可行的解决方案.


