应用位置平均收束电子衍射来确定超薄材料的厚度
Johannes Biskupek1, Philipp Eltgen2, Ute Kaiser2
1Electron Microscopy Group of Materials Science, University of Ulm, Ulm D-89081, Germany.
概括
精确的2D材料厚度测量如石墨烯现在可以使用位置平均收束电子衍射 (PACBED). 这种技术通过差值法 (DVM) 或卷积神经网络 (CNN) 进行评估,可以提供准确的,非破坏性的层量化.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 凝聚物质物理学 凝聚物质物理学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 精确的厚度测定对于描述二维 (2D) 材料至关重要.
- 现有的方法可能缺乏精度或具有破坏性.
研究的目的:
- 建立一个精确的,非破坏性的方法来确定独立的2D材料的厚度.
- 为了验证位置平均收束电子衍射 (PACBED) 用于层量化.
主要方法:
- 使用位置平均收束电子衍射 (PACBED) 进行厚度分析.
- 通过使用差值方法 (DVM) 和卷积神经网络 (CNN) 的模拟,将实验性PACBED模式与模拟进行比较.
- 采用光学对比度测量用于独立验证.
主要成果:
- 包装DVM或CNN实现了对高达三层单层的精确一致.
- 偏差在一个层内高达10层,在两个层内高达大约50层.
- 经过验证的基于PACBED的厚度测定与光学对比度测量.
结论:
- PACBED是一种可靠且准确的方法,用于量化二维无机材料的厚度.
- DVM和CNN为PACKBED数据提供了有效的评估策略.
- 这种技术可以在传输电子显微镜中进行精确的,非破坏性的层数计.


