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Updated: Jan 9, 2026

07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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低损耗和极化不敏感的双尖边缘合器,在绝缘体平台上的尼奥巴特上刻有面孔
Optics letters
|December 1, 2025
概括
我们开发了一种新的边缘合器,用于在绝缘体 (LNOI) 上的酸光子电路. 该设备提供低损耗,极化不敏感的光纤与芯片的合,对于集成光子学至关重要.
科学领域:
- 光子学和光学工程的工程.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 绝缘体上的酸 (LNOI) 是光子集成电路的关键平台.
- 有效的光纤到芯片合对于实际的LNOI设备至关重要.
- 现有的合方法往往遭受高损耗或极化依赖.
研究的目的:
- 为LNOI提出和演示一种低损耗,极化不敏感的边缘合器.
- 为了实现跨C和L频段的高效宽带合.
- 为晶圆规模生产提供一个具有成本效益的解决方案.
主要方法:
- 一个边缘合器的设计,利用一个刻刻的面面双尖反向的缩结构.
- 使用简单的干蚀刻工艺制造,消除了对芯片边缘抛光的需求.
- 在1530-1630nm波长范围内的合损失和偏振依赖损失的表征.
主要成果:
- 在1550 nm的TE/TM模式下,实现了每面1.28/0.67dB的光纤到芯片合损失.
- 在TE/TM模式下,测量合损失低于每面1.5/1.0dB.
- 在1530-1630nm波长范围内,已证明偏振依赖的损失低于0.85dB.
结论:
- 拟议的蚀刻面双尖反斜边缘合器对LNOI有效.
- 该设备提供低损耗和极化不敏感性,适合宽带操作.
- 这项技术为LNOI光子集成电路中的光纤到芯片合提供了具有成本效益和高效的解决方案.

