概括
研究人员使用微转移打印和微轮反射器开发了紧,稳定的芯片内激光器. 这些集成的连续波 (CW) 激光器为先进的应用提供狭窄的线宽和高输出功率.
科学领域:
- 光子学和光学工程的工程.
- 材料科学与工程 材料科学与工程
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 芯片上的激光器对于集成光子电路至关重要.
- 现有的激光集成方法在紧性,稳定性和制造复杂性方面面临挑战.
- 波长选择性元素是激光设计和性能的关键组成部分.
研究的目的:
- 在化 (SiN) 平台上演示异质集成的连续波 (CW) 激光器.
- 使用微电器作为波长选择反射器,以提高激光性能.
- 为了实现紧,坚固和频率稳定的芯片上激光器,无需相位变换器.
主要方法:
- 激光元件在SiN平台上的异质集成,使用微转印 (μTP).
- 在激光腔内使用微装备结构作为波长选择性反射器.
- 激光性能的表征,包括输出功率,线宽,侧模式抑制比率 (SMSR) 和足迹.
主要成果:
- 实现了高达12.1mW的芯片内光学输出功率.
- 已证明内在线宽为3.7kHz,表明高连贯性.
- 在单模式下运行的激光器,SMSR超过45dB.
- 这些设备具有4000 × 250μm2的紧足迹.
结论:
- 通过μTP进行异质集成为制造高性能芯片上的激光器提供了可行的途径.
- 微装备反射器可以实现紧,稳定和高效的激光操作.
- 这些集成激光器显示出在连贯通信和LiDAR系统中应用的巨大潜力.


