超过1亿个Q化Fabry-Perot Bragg纳米复原器,通过先进的状网格实现

科学领域:

• 光子学 是一个光子学.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 化 (Si₃N₄) 光子集成电路具有较低的传播损失.
• 之前的工作在Si3N4纳米复原器中展示了高质量因子 (Q_in),但损失更高.
• 尽量减少模式不匹配对于纳米光子设备中高效的光合至关重要.

研究的目的:

• 为了显著提高Fabry-Perot Bragg格子纳米复原器的性能.
• 为了实现超高的内在质量因子 (Q_in) 以最小的传播损失.
• 为了实现紧的,高性能的光子集成共振器.

主要方法:

• 在100nm和300nm化平台上制造纳米复原器.
• 实施了先进的缩格设计,以减少波导-布拉格镜像模式不匹配.
• 内在质量因子 (Q_in) 和传播损失的表征.

主要成果:

• 在100nmSi3N4平台上达到高达1.12亿的Q_{in,传播损失为0.19dB/m.}
• 在300nmSi3N4平台上获得了5800万的Q_in,损失为0.45 dB/m.
• 与之前的研究相比,证明了传播损失的显著减少.

结论:

• 先进的形格设计有效地减少了模式不匹配,从而提高了共振器性能.
• 这些超高Q化纳米复合器代表了光子集成电路的重大进步.
• 开发的技术适用于非线性光学和精密光子学领域的苛刻应用.