经过LTP校正的拼接干扰仪实现了X射线镜像计量技术的亚纳米准确度.

科学领域:

• 光学和计量学 在光学和计量学.
• 表面表征表征表征的表征表征.
• 在X射线光学上,X射线光学

背景情况:

• 对于先进的科学仪器来说,大型曲的X射线镜子的精确计量是必不可少的.
• 传统的接干扰测量方法在大型光学仪器上遇到累积角误差.
• 下一代同步子和X射线应用需要纳米以下的精度.

研究的目的:

• 开发和验证用于大型曲线X射线镜子的亚纳米精度接干扰测量系统.
• 克服现有计量技术的局限性,特别是角度误差传播.
• 为了使复杂的光学表面的高精度表征.

主要方法:

• 采用Fizeau干扰仪,其参考传输平面用于次孔径测量.
• 实施了一种混合合方法,与长轨迹分析仪 (LTP) 低频校正相结合.
• 开发了一种纠正策略,以减轻接过程中累积的角度错误.

主要成果:

• 在高精度光学上实现了0.18nm RMS测量可重复性.
• 证明与直接LTP测量有很好的一致性 (<0.2nm RMS).
• 成功验证了曲面镜子计量学,半径误差低于1%,并以高精度表征了同步镜镜.

结论:

• 开发的拼接干扰测量系统实现了对大型曲线X射线镜子的亚纳米精度.
• 用LTP引导的校正有效地消除了角度漂移的传播,超过了仅使用软件的方法.
• 这种计量系统对于制造和合格先进的X射线光学至关重要.