低温回火调节磁声合,提高FeCoSiB/Ti SAW磁场传感器性能
Yutong Wu1,2, Yining Yin1, Baile Cui1
1State Key Laboratory of Acoustics, Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences Beijing 100190 China wangwenwq@mail.ioa.ac.cn jiayana@mail.ioa.ac.cn.
Nanoscale advances
|December 8, 2025
概括
FeCoSiB/Ti薄膜的低温回火 (100°C) 优化了表面声波 (SAW) 磁场传感器. 这一过程提高了51%的灵敏度,并提高了温度稳定性,这对于先进的传感器应用至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 物理 物理学 物理
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 表面声波 (SAW) 磁场传感器对于各种应用非常重要.
- 优化磁声合是提高传感器性能的关键.
- 低温回火为调整传感器特性提供了一个潜在的方法.
研究的目的:
- 为了研究低温回火对SAW磁场传感器磁声合的影响.
- 阐明火影响传感器灵敏度和温度稳定的机制.
- 为了建立火温度和传感器性能之间的定量关系.
主要方法:
- 使用的FeCoSiB/Ti多层复合材料软磁合金.
- 采用理论建模,包括Arrhenius磁域重定向模型和修改的Stoney方程.
- 进行理论预测的实验验证.
- 在100°C,200°C和300°C的温度下研究了化.
主要成果:
- 100°C化将和磁强度系数提高到46.9×10−6,并将DE效应提高到49.5%.
- 在100°C火后,传感器的灵敏度提高了51% (从156.34°/mT到236.19°/mT).
- 温度漂移系数下降了62.5%,插入损失的变化最小.
- 高温回火 (200°C/300°C) 显著降低了灵敏度.
结论:
- 低温回火 (100°C) 有效调节磁声合,提高了SAW磁传感器性能.
- 化优化了磁性参数,减少了内部应力,从而提高了灵敏度和稳定性.
- 这项研究为准备高性能SAW磁场传感器提供了定量框架.
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