孔隙和纳米电线用于芯片上的超级电容电极:一篇评论

Daria M Sedlovets1

  • 1Institute of Microelectronics Technology and High-Purity Materials, Russian Academy of Science (IMT RAS), 6 Academician Ossipyan Str., 142432 Chernogolovka, Moscow, Russia.

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概括

本综述探讨使用多孔 (pSi) 和纳米线 (SiNW) 作为芯片上的微电容电极. 它详细介绍了对绩效的结构性影响,并讨论了先进的能源存储的整合挑战.