对深紫外激光辅助Invizo 6000和近紫外激光辅助LEAP 5000的一系列材料系统的性能评估

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 分析化学 分析化学
• 表面科学是一门学科.

背景情况:

• 原子探头断层扫描 (APT) 提供了近原子分辨率的3D元素映射.
• 在APT中,较短的激光波长 (绿色,NUV) 改善了数据质量和材料分析范围.
• 推出了一种新的深紫外线 (DUV) 激光APT系统 (Invizo 6000),具有新的设计特征.

研究的目的:

• 系统地比较新的DUV激光APT (Invizo 6000) 与传统LEAP系统的性能.
• 评估各种材料的数据质量,包括金属和氧化物.
• 确定影响先进APT仪器数据质量的因素.

主要方法:

• 对商业LEAP 5000和Invizo 6000 APT系统进行比较分析.
• 检查各种材料类型,包括金属和氧化物.
• 系统评估数据质量使用指标:背景水平,检测事件,离子检测直方图和质量分辨率.
• 研究样品制备技术,特别是薄涂层.

主要成果:

• 在多个材料类别中,Invizo 6000 的性能与 LEAP 5000 相比进行了评估.
• 数据质量是使用既定的定量指标来评估的.
• 将薄涂层涂在APT标本上被认为是一种提高数据质量的方法.

结论:

• 该研究提供了新的DUV激光APT技术与已有的系统的系统比较.
• 关键指标揭示了Invizo 6000的性能特征.
• 样本准备,如薄涂层,对于优化APT数据质量至关重要.