调节和合成混合合物氧化纳米颗粒的12纳米纳米光刻法

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术
• 化学工程是化学工程的重要组成部分.

背景情况:

• 极端紫外线光刻需要先进的光电阻 (PR) 材料,以实现高分辨率和低粗度.
• 有机-无机混合金属氧化物光电阻 (MOR) 是下一代光刻技术的一个有前途的平台.
• 连接体设计对于量身定制MOR属性以满足严格的光刻要求至关重要.

研究的目的:

• 研究一种混合联体战略,以提高氧化 (TiO2) 光电阻的性能.
• 探索辐射暴露下混合带诱导的新反应途径.
• 为了实现先进的纳米光刻技术的高分辨率图案.

主要方法:

• 功能化TiO2纳米颗粒与酸和酸联体的混合物.
• 使用电子束光刻法对光电阻性能进行评估.
• 对辐射诱导的化学转化进行分析,包括脱碳化和C-F键裂解.

主要成果:

• 混合联体TiO2光电阻实现了高质量的线条,特征尺寸低至12nm.
• 线宽粗度显著降低到大约1.3纳米.
• 混合联体系统与单联体系统相比,表现优越.

结论:

• 混合联体战略有效地增强了MORs用于纳米石墨的成像能力.
• 电子触发脱碳和Ti-F键形成是溶解性过渡的关键机制.
• 这种方法为设计用于未来 lithography 的先进 photoresists 提供了宝贵的见解.