高精度液体参考Fizeau干涉计,使用静止相移方法和倾斜抑制校准方法.
Optics express
|December 19, 2025
概括
这项研究引入了一个高精度的Fizeau干扰度系统,使用液体参考. 这种新的方法通过抑制倾斜误差,显著提高了测量精度,提高了表面形状分析.
科学领域:
- 光学计量学 在光学计量学
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
背景情况:
- 传统的菲泽奥干扰测法面临着表面平坦性假设和环境干扰的挑战.
- 液体表面可能会受到诸如边缘透等因素的影响,随着时间的推移改变其形状.
研究的目的:
- 开发一套高精度的Fizeau干扰测量系统,利用液体参考来提高测量精度.
- 研究抑制干扰度测量的倾斜误差的方法.
主要方法:
- 一种静止时间偏振相位移方法,配有液晶变量减速器,用于稳定的相位移.
- 使用100cSt二甲基油作为干扰模块中的液体参考.
- 采用结合差分法来对直角转换和获得参考液体的表面形状.
主要成果:
- 液体参考运动抑制了机动阶段引导的倾斜误差,利用液体特性和重力.
- 环境振动,机械运动和漂移引起的倾斜误差通过平均和高精度测量约束来减轻.
- 实验结果表明,在校准后,残余垂直直径线的标准偏差有1.07nm的改善.
结论:
- 开发的Fizeau液体参考干扰测量系统提供了卓越的精度和稳定性.
- 结合差分法有效地解决了液体表面形状偏差,并抑制了倾斜误差.
- 这种方法显著提高了光学表面计量学的准确性.
