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这项研究引入了一种新的束干涉测量方法,用于半导体制造中的高精度晶圆对齐. 这种技术实现了极好的线性和可重复性,为石版系统提供了一个有前途的替代方案.
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主要方法:
主要成果:
结论:
10:39Measurement of X-ray Beam Coherence along Multiple Directions Using 2-D Checkerboard Phase Grating
Published on: October 11, 2016
09:45Large-area Scanning Probe Nanolithography Facilitated by Automated Alignment and Its Application to Substrate Fabrication for Cell Culture Studies
Published on: June 12, 2018