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Updated: Jan 8, 2026
04:47
Multimodal Optical Imaging Platform for Studying Cellular Metabolism
Published on: June 6, 2025
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高速,可广泛调节的双向1310nm MEMS VCSEL用于OCT成像
Optics express
|December 19, 2025
概括
我们使用微电机系统 (MEMS) 技术开发了可调节的新型1310nm垂直腔表面发射激光器 (VCSELs). 这些MEMS VCSEL提供MHz扫描速率和广泛的调节范围,非常适合光学连贯断层扫描 (OCT).
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
背景情况:
- 可调节激光器对于光学连贯断层扫描 (OCT) 等应用至关重要.
- 微电子机械系统 (MEMS) 可调节的垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 提供了紧且潜在的低成本解决方案.
- 光子平台为集成光电子设备提供了坚实的基础.
研究的目的:
- 为了展示在平台上制造的第一个双向1310nm MEMS VCSEL.
- 分析两个不同的设备配置以优化性能.
- 评估这些MEMS VCSELs适用于OCT应用的适用性.
主要方法:
- 印酸 (InP) 表在在绝缘体 (SOI) 晶圆上的晶圆粘合.
- 制造两种MEMS VCSEL设备配置:一种是通过真空粘合主导半导体腔,另一种是通过粘合接口加入反射涂层.
- 两种设备类型的调范围和共振频率的表征.
主要成果:
- 实现了MEMS VCSELs的MHz范围扫描速率.
- 一个在半导体腔中占主导地位的MEMS VCSEL在2.4MHz时表现出58nm的连续调范围.
- 一个带有反射涂层的设备显示,在2.48MHz时,连续调范围为30.5nm.
- 两个配置的预计调范围超过100nm.
结论:
- 在平台上成功展示了双向1310nm MEMS VCSEL.
- 开发的MEMS VCSEL具有广泛的调范围和高扫描速率,适用于OCT.
- 设备配置显著影响调范围和性能.
