分段指电极以优化薄膜酸中超长连续晶圆尺度周期抛光的薄膜酸
Laura Bollmers1, Noah Spiegelberg2, Michael Rüsing1
1Department of Physics, Integrated Quantum Optics, Institute for Photonic Quantum Systems (PhoQS), Paderborn University, 33095 Paderborn, Germany.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 22, 2025
概括
研究人员在薄膜酸 (TFLN) 中实现了70mm的连续周期抛光,克服了长非线性光学设备的制造挑战. 这一突破使得高效的量子光源和频率转换器成为可能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 量子光学是一种量子光学.
- 非线性光学是非线性光学.
背景情况:
- 薄膜酸 (TFLN) 对于量子光源和频率转换器至关重要.
- 设备效率与非线性材料交互长度成正方形.
- 在TFLN中制造长,连续的周期性极点区域是一个重大挑战,通常仅限于10mm.
研究的目的:
- 证明在TFLN.中制造长,连续的周期性聚合区域方面取得了重大进展.
- 为了比较两个电极设计方法来实现延长的抛光长度.
- 为了使晶圆尺度的周期抛光超过片片大小.
主要方法:
- 使用两个电极设计,定期抛光TFLN:一个单一的70mm连续电极和一个细分的方法,超过20个部分.
- 实现70mm连续抛光面积,抛光周期为3μm,工作周期为~50%.
- 分析聚合结果以与较短的设备结果保持一致.
主要成果:
- 在TFLN.成功地制造了70mm长的连续聚合区域.
- 证明了晶圆尺度的周期性抛光超出了片片大小而不会影响质量.
- 连续和细分电极方法都产生了一致的结果,细分方法提供了更好的工作周期控制.
结论:
- 克服了在TFLN中制造长,连续的周期性聚合区域的挑战.
- 建立了一种可行的方法,用于TFLN的晶圆尺度定期抛光.
- 为开发高效,窄带宽,低功率的非线性光学设备铺平了道路.
