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Updated: Jan 8, 2026
07:51
Fabrication of Silica Ultra High Quality Factor Microresonators
Published on: July 2, 2012
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在薄膜基酸盐上的高Q和紧的Fabry-Perot微复原器
Likai Yang1, Chunzhen Li1, Jiacheng Xie1
1Department of Electrical Engineering, Yale University, New Haven, CT 06511, USA.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 22, 2025
概括
研究人员开发了一种新的薄膜酸 (TFLN) 微复原器. 这些高质量的共振器增强了用于非线性光学和电光学应用的集成光子设备.
科学领域:
- 综合光子学 综合光子学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 薄膜酸 (TFLN) 对于集成光子学至关重要,使非线性光学,电光学和压光学机械学成为可能.
- 高质量的光子微振解器对于增强TFLN设备中的光物质相互作用至关重要.
研究的目的:
- 设计和制造具有优化性能的新型TFLN Fabry-Perot微振器.
- 为了证明这些共振器的功能,用于高频调制.
主要方法:
- 制造TFLN Fabry-Perot微振解器,使用形光子晶体镜和直线波导截面.
- 集成芯片上的电极用于电光控制.
主要成果:
- 在1,530 nm时获得了6 × 10^5的高质量系数 (Q).
- 制造了一个长度为100微米的紧共振器.
- 证明了高频率的压光机械调制.
结论:
- 设计的TFLN Fabry-Perot微光器为先进的集成光子应用提供了一个有前途的平台.
- 这些共振器可以作为开发TFLN上的高性能光子设备的关键组件.
