光子集成电路和原子蒸汽电池的晶圆尺度集成
Arieh Grosman1, Roy Zektzer2, Noa Mazurski1
1Institute of Applied Physics, The Faculty of Science, The Center for Nanoscience and Nanotechnology, The Hebrew University of Jerusalem, Jerusalem, Israel.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 22, 2025
概括
我们开发了一种晶圆尺度制造方法,用于集成光子原子芯片. 这一突破使微型原子设备的可扩展生产成为先进的传感和量子技术的可扩展生产.
科学领域:
- 光子学和原子物理学的原子物理学.
- 集成光学 集成光学
- 量子技术是一种量子技术.
背景情况:
- 基于原子的技术对于计时,导航和传感至关重要.
- 目前的设备由于体积庞大的组件和大型原子蒸汽电池,往往需要在实验室内使用.
- 微型化工作面临着原子细胞和光子元件之间的整合挑战.
研究的目的:
- 为了彻底改变集成光子原子装置的制造能力.
- 为了克服手工组装的局限性,并提高热强度.
- 为了实现微型原子光子系统的晶圆规模生产.
主要方法:
- 推出了新一代的原子覆盖波导 (ACWG) 设备.
- 利用光子芯片的晶片粘合,与预刻的原子室的玻璃晶片结合.
- 为多个集成芯片开发了一种批量制造工艺.
主要成果:
- 实现了微型集成光子原子芯片的晶圆规模制造.
- 在高温下长时间可靠运行.
- 启用更高的原子密度以提高设备性能.
结论:
- 新的晶圆尺度工艺显著提高了集成光子原子系统的制造能力.
- 这种方法为下一代传感,计量和量子技术的可扩展生产铺平了道路.
- 制造方法受到商业互补的金属氧化物半导体成熟工艺的启发.


