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Updated: Jan 8, 2026
11:23
Lensless Fluorescent Microscopy on a Chip
Published on: August 17, 2011
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通过直接集成的窄带等离子过器进行芯片上的宽带光谱传感,用于计算式多光谱成像
Qilin Zheng1, Li Liang2, Shunji Yang1
1Institute of Physics, Henan Academy of Sciences, Zhengzhou 450046, China.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 22, 2025
概括
我们开发了一个紧的,具有成本效益的近红外 (NIR) 光谱传感芯片. 这种微型设备可用于各种应用的高分辨率光谱分析,克服了以前的制造挑战.
科学领域:
- 光子学和光谱学 在光子学和光谱学.
- 材料科学和纳米技术材料科学和纳米技术
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 光谱对于生物医学诊断和遥感等应用至关重要.
- 通过和微波光子集成,光谱系统的小型化正在推进.
- 实现芯片规模,宽带,高分辨率和低成本的NIR光谱仍然是一个挑战.
研究的目的:
- 为了展示一个紧且具有成本效益的近红外 (NIR) 光谱传感芯片.
- 为了展示一个可扩展的,检测器兼容的在芯片上NIR光谱的方法.
- 为了实现可部署的,紧的光谱传感平台.
主要方法:
- 塑带通波器阵列与InGaAs光探测器的单体集成.
- 通过单步 lithography 采用几何调节的纳米孔阵列的制造.
- 使用SiNx间隔层用于直接波器检测器集成和16通道超像素布局.
主要成果:
- 实现了可调节的窄带传输跨越900-1,700nm,FWHM为5.0nm,峰值Q因子为~284.7nm.
- 通过计算光谱重建,通过1550nm附近的~1nm分辨率得到证明.
- 启用了高保真度光谱成像,具有可扩展,检测器兼容的设计.
结论:
- 开发的NIR光谱传感芯片提供了一个可扩展和成本有效的解决方案.
- 单立体集成消除了对齐问题,并提高了可制造性.
- 这项技术为紧,可部署的光谱传感平台铺平了道路.
