Qi Sun1, Sidong Wu1, Bingchun Jia1
1State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, Zhejiang, China.
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这项研究引入了原子层次的光刻法,以精确控制表面地形,使先进的半导体设备能够以原子尺度的精度进行精确控制. 这种新的流量分组技术可以保持一个单个原子层的精度的阶梯梯形结构.
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