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Zhiyong Chen1,2,3,4, Chi Tu1,2,3,4, Haifeng Sun1,2,3
1National Key Laboratory of Optical Field Manipulation Science and Technology, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.
一个新的混合优化算法 (GA-HO) 在数字微镜器件光刻中提高了面具图案的准确性. 这种方法通过将遗传算法与海马优化相结合来提高成像性能,以获得更高的精度.
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