在结合的LiNbO3/SiC膜上使用高性能和耐热的A1-模式羔羊波共振器
Noriyuki Watanabe1, Shoji Kakio1, Yoshiki Sakaida2
1Integrated Graduate School of Medicine, Engineering, and Agricultural Sciences, University of Yamanashi, Kofu 400-8511, Yamanashi, Japan.
Micromachines
|December 31, 2025
概括
使用酸和碳化的新型粘合膜结构为高频声学共振器提供了强大的解决方案. 这种设计克服了独立设备的脆弱性,使得高性能和热稳定性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 声学 声学 在声学方面
背景情况:
- 对于高频,宽带宽的射频过器的需求日益增长.
- 由于机械脆弱性,自由站立的侧面激发的A1模式Lamb波共振器 (XBAR) 的限制.
- 需要耐热的声学共振器来实现实际应用.
研究的目的:
- 为高性能声学共振器提出和分析一种新的粘合膜结构.
- 为了研究基酸盐 (LiNbO3; LN) 薄板在碳化 (SiC) 层的支持下使用.
- 制定LN/SiC共振器的设计准则.
主要方法:
- 用有限元模拟来分析A1模式的Lamb波激发和在LN/SiC膜中的传播.
- 系统评估SiC层对合系数和相位速度的影响.
- 一个原型LN/SiC共振器的制造和特征.
主要成果:
- 与XBAR相比,LN/SiC膜表现出明显的A1模式Lamb波浪行为.
- 一个具有12微米电极距离的制造共振器显示了在1.2 GHz附近的明确A1模式响应.
- 实现了24%的有效电机械合系数和超过14000m/s的相位速度.
结论:
- 粘合的LN/SiC膜是高性能声学共振器的可行平台.
- 这种结构提供了高电机械合,高速操作和热稳定性.
- 拟议的设计解决了当前声学共振器技术的局限性.
