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Updated: Jan 13, 2026
11:59
High-speed Particle Image Velocimetry Near Surfaces
Published on: June 24, 2013
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高精度X射线镜面表面图形表征的真空计量平台
Dezhi Diao1, Jun Han2,3, Yihang Yao2,3
1Zhejiang Institute of Photoelectronics and Zhejiang Institute for Advanced Light Source, Zhejiang Normal University, Jinhua, Zhejiang 321004, China.
The Review of scientific instruments
|January 8, 2026
概括
本研究介绍了一种高精度真空计量系统,用于在现场进行X射线镜像监测. 该系统实现了低于0.1μrad的RMS斜率可重复性,这对于在苛刻条件下进行适应性波面校正至关重要.
科学领域:
- 光学和计量学 在光学和计量学.
- 真空技术 真空技术
- 射线光学X射线光学
背景情况:
- 在现场计量对于监测真空和高热负荷下的X射线镜像变形至关重要.
- 适应性纠正需要精确的实时表面图形数据.
研究的目的:
- 引入一个高精度的真空计量系统,用于在现场进行X射线镜面图形测量.
- 在真空条件下评估系统性能,并评估不同的光学配置.
主要方法:
- 开发一个真空内部五制长线形状仪系统.
- 内部光学路径与外部探测器 (IOP-ED) 和外部光学头配置的比较.
- 在200Pa的真空测试中,在平面镜子上使用150mm扫描范围.
主要成果:
- 在真空评估中实现了0.1μrad以下的RMS斜率可重复性.
- 在IOP-ED配置中证明了0.23μrad RMS系统错误.
- 通过将探测器放置在外部,尽量减少窗口错误.
结论:
- 开发的系统允许精确监测紧和热变形.
- IOP-ED配置显示了适应性波面校正的有希望的结果.
- 为进一步增强稳定性,建议采用全真空集成.
