一个完全集成的单立体监视器,用于衰老诱导的泄漏当前的特征
Emmanuel Nti Darko1, Saeid Karimpour1, Daniel Adjei1
1Department of Electrical and Computer Engineering, Iowa State University, Ames, IA 50011, USA.
Sensors (Basel, Switzerland)
|January 10, 2026
概括
一个新的精密泄漏电流传感器监测组件老化,如时间依赖性介电断裂 (TDDB). 这种单体设计提供了广泛的动态范围和高压支持,可靠的设备表征.
科学领域:
- 电气工程 电气工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 诸如时间依赖介电断裂 (TDDB) 等老化机制对于电子元件的可靠性至关重要.
- 准确的现场监测泄漏电流对于理解和预测元件降解至关重要.
研究的目的:
- 为现场监测衰老机制提供一种新的,精确的,宽动态范围的泄漏电流传感器.
- 为了使高压应力测试和时间依赖介电分解 (TDDB) 的准确表征.
主要方法:
- 开发了一个完全单立体的架构,集成了电流到电压前端,可调节增益放大器和连续近似寄存器 (SAR) 模拟到数字转换器 (ADC).
- 实现并评估了离散组件原型,其泄漏电流范围为1nA至1μA.
- 传感器性能特征包括整体非线性 (INL) 和微分非线性 (DNL).
主要成果:
- 实现了12位分辨率,测量INL在±1.5 LSB内,DNL在±0.3 LSB内.
- 在广泛的动态范围 (1nA到1μA) 上演示了线性电流数字化.
- 验证了传感器对高压应力监测的能力.
结论:
- 拟议的传感器设计提供了准确和可扩展的TDDB表征能力.
- 单立体架构和高压支持使其适用于各种电子应用中的嵌入式可靠性监控.
- 这种传感器推进了半导体可靠性测试和部件寿命预测领域.


