使Si

Sunhae Choi1, Haekyun Bong1,2, Kyunghwan Kim3

  • 1School of Integrated Technology, Yonsei University, Incheon 21983, Republic of Korea. jungwoo.oh@yonsei.ac.kr.

概括

金属辅助化学蚀刻 (MACE) 有效地制造出微结构. 这项研究揭示了温度,金属厚度和图案几何学如何影响MACE动力学,实现低激活能量以优化3D制造.