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Updated: Jan 17, 2026
08:21
Laser-induced Forward Transfer for Flip-chip Packaging of Single Dies
Published on: March 20, 2015
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基于AlGaN的深紫外线垂直腔表面发射激光器在柔性基板上
Optics letters
|January 15, 2026
概括
研究人员使用AlGaN.开发了柔性深紫外线 (DUV) 垂直腔表面发射激光器 (VCSELs),使用AlGaN. 这一突破使智能光源和集成系统的先进灵活光子设备成为可能.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 灵活的电子设备对于下一代设备至关重要.
- 垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 为光源应用提供了独特的优势.
- 深紫外线 (DUV) 光源对于各种科学和工业应用至关重要.
研究的目的:
- 在柔性基板上展示基于AlGaN的深紫外线 (DUV) VCSEL.
- 为了探索柔性DUV光子设备的制造.
- 在灵活的平台上研究DUV VCSEL的激光特性.
主要方法:
- 制造AlGaN量子井异质连接.
- 通过电化学蚀刻选择性去除GaN牺牲层.
- 将异质连接转移到柔性基板上.
- 介电分布式布拉格反射器 (DBR) 的沉积形成了共振腔.
主要成果:
- 在柔性基板上成功展示了基于AlGaN的DUV VCSEL.
- 在294.2nm实现单模激光,值功率密度为7.4MW/cm2.
- 观察到的多模式激光归因于DBR的不均性.
- 激光的性能在室温下得到证实,线宽为0.39nm.
结论:
- 这项工作提出了一个可行的方法来创建灵活的DUV VCSEL.
- 开发的技术为在DUV频谱中灵活的光子集成铺平了道路.
- 为智能光源和多功能灵活光子平台提供了新的可能性.
