:使AFM

Matteo Lorenzoni1

  • 1Materials Characterization Facility, Istituto Italiano di Tecnologia, via Morego 30, 16163 Genoa, Italy.

PubMed
概括

局部阳极氧化 (LAO) 使用原子力显微镜进行纳米尺度的图案设计. 本综述详细介绍了LAO在纳米技术进步中使用的半导体,金属和2D材料等材料.