基于合调制低声画廊模式微空洞的高灵敏度芯片内加速度计

Optics express
|February 20, 2026
PubMed
概括

这项研究引入了一种新的芯片加速度计,使用低声画廊模式 (WGM) 微声共振器. 该设备为集成光学传感应用提供高性能和稳定性.