复杂轨迹的频率分解用于高速和精确的激光处理,使用混合电AOD扫描系统

Optics express
|February 20, 2026
PubMed
概括

本研究介绍了一种用于混合激光扫描系统 (仪扫描仪和声光偏光器) 的频率分解方法,以提高微处理中的精度和效率. 这种新的方法将处理速度提高了3.8倍以上,同时保持了准确性.