-Pitch Cu

Zambaga Otgonbayar1, Jungchul Noh2, Seong-Ho Yoon3,4

  • 1Department of Polymer Science and Engineering Inha University 100 Inha-ro, Michuhol-gu Incheon 22212 Korea.

Small science
|February 20, 2026
PubMed
概括

本研究介绍了一种使用无电沉积 (ELD) 进行先进半导体包装的低温混合粘合技术. 这种方法可以在250°C下实现强大的铜互连,克服了高温工艺的局限性.