数字全息利用固体的波生成来重建亚波长纳米结构
Leo Guery1, Falco Bijloo2, Peter M Kraus1,3
1Advanced Research Center for Nanolithography, Science Park 106, 1098 XG Amsterdam, Netherlands.
ACS photonics
|February 23, 2026
概括
数字全息显微镜与波生成相结合,可实现精确的3D重建和亚波长结构的表征. 这种先进的技术提高了纳米结构的精度,在半导体制造中有应用.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 数字全息显微镜 (DHM) 是成像中相位评估的一个关键技术.
- 非线性光学过程,如高波生成,为纳米尺度表征提供了增强的灵敏度.
研究的目的:
- 为了证明DHM和波生成的联合使用3D样本重建.
- 以更高的准确度研究子波长周期结构的表征.
主要方法:
- 结合数字全息显微镜 (DHM) 与从固体材料中生成非线性波.
- 使用近红外 (NIR) 探测激光源.
- 分析用于结构参数调查的高波生成.
主要成果:
- 获得了可靠的样本3D重建.
- 网格的区别与几十纳米的临界维度变化.
- 结构的分辨率,距离仅为400nm,低于NIR激光波长.
结论:
- DHM和波生成组合可靠地重建3D样品并表征亚波长结构.
- 该技术为纳米结构分析提供了更高的准确性,特别是对于周期性网格.
- 这种方法有可能在半导体等行业感应亚波长结构.
关键词:
关键维度检查检查 关键维度检查 关键维度检查数字全息显微镜的数字全息显微镜.高波的产生高波的产生.干涉测量干涉测量干涉测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰纳米尺度计量学 纳米尺度计量学第三声的第三声生成超快光学是一种超快的光学.
