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Updated: Feb 28, 2026
08:21
Laser-induced Forward Transfer for Flip-chip Packaging of Single Dies
Published on: March 20, 2015
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在GaN激光二极管与旋转玻璃隔离制造的平面化和回蚀过程
Katarzyna Piotrowska-Wolińska1, Szymon Grzanka1, Łucja Marona1
1Institute of High Pressure Physics, Polish Academy of Sciences, 01-142 Warsaw, Poland.
Micromachines
|February 27, 2026
概括
旋转玻璃 (SOG) 为隔热InGaN激光二极管提供了一个具有成本效益的替代方案. 这种方法改善了制造,并实现了稳定的激光操作,为可扩展的光子应用铺平了道路.
科学领域:
- 半导体物理 半导体物理
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光子学是指光子学的使用方法.
背景情况:
- 化 (InGaN) 激光二极管对于先进的光子应用至关重要.
- 使用二氧化 (SiO2) 的传统制造方法在加工复杂性和成本方面存在挑战.
- 对于可扩展的InGaN激光二极管制造,需要改进绝缘和平面化技术.
研究的目的:
- 研究基于InGaN的波导激光二极管中使用旋转玻璃 (SOG) 作为绝缘和平面化层.
- 将SOG方法与传统的二氧化 (SiO2) 方法进行比较.
- 评估SOG绝缘激光二极管的电气和光学特性和操作稳定性.
主要方法:
- 在GaN基板上制造InGaN激光二极管,使用金属有机化学蒸汽沉积 (MOCVD).
- 活跃区域的In0.11Ga0.89N量子井的增长.
- 玻璃上旋转 (SOG) 的应用用于绝缘和平面化,其次是用于电接触形成的回蚀过程.
- 在脉冲和连续波 (CW) 条件下的绝缘表面和设备性能的表征,使用 (Ni) 保护层.
主要成果:
- 通过使用SOG.成功形成了高质量的绝缘表面,具有很好的附着性,可以在山脊侧墙上使用SOG.
- 在制造的InGaN激光二极管中证明有利的电和光学特性.
- 在脉冲和连续波 (CW) 条件下实现稳定的激光操作.
结论:
- 旋转玻璃 (SOG) 是一种可行且有前途的替代方法,用于绝缘InGaN激光二极管.
- 与传统的SiO2方法相比,SOG方法提供了更好的表面平面性,减少了加工复杂性和更低的制造成本.
- 这种技术使InGaN激光二极管可用于先进的光子应用程序的可扩展和成本效益的制造成为可能.
